西安西能光伏科技有限公司
MOCVD特气管道系统主要包含:特气柜GC,阀门箱VMB,输送管道 ,流量控制箱GAS,BOX;
1, 双工艺47L钢瓶供应
2. 自动型, Siemens PLC+触摸屏控制
3. 自动吹扫, 自动切换 ,PN2手动进气
4. 带喷淋
5.气柜抽风配置负压表
6. 出入口端过滤(Gasket filter and linefilter)
7. 真空发生器,高低压排气
8. 高低压端压力传感器及压力表
9.左右盘面单独氦检漏阀
10.配工艺秤
陕西西安市高新区唐延南路11号i都会3-622室
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