硅烷氨气TMA特气柜GC气瓶柜
详细描述
1, 双工艺47l钢瓶供应
2. 自动型, siemens plc+触摸屏控制
3. 自动吹扫, 自动切换 ，pn2手动进气
4. 带喷淋
5.气柜抽风配置负压表
6. 出入口端过滤(gasket filter and line filter)
7. 真空发生器，高低压排气
8. 高低压端压力传感器及压力表
9.左右盘面单独氦检漏阀
10.配工艺秤
2. 自动型, siemens plc+触摸屏控制
3. 自动吹扫, 自动切换 ，pn2手动进气
4. 带喷淋
5.气柜抽风配置负压表
6. 出入口端过滤(gasket filter and line filter)
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